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SONIC μLF-300S超聲波微量液體流量計的資料

更新時間:2024-12-19      瀏覽次數(shù):231

SONIC μLF-300S超聲波微量液體流量計的資料

μLF-300S.jpg

用于
IPA、純水和化學液體等半導體制造過程中微觀區(qū)域的流量管理
?測量1ml/min
以上的微小流量 ?通過數(shù)字信號處理
高精度測量微小流量 ?傳感器部具有與流體的非接觸式結構
?范圍廣

產(chǎn)品規(guī)格
■ 微液體流量計(傳感器分離型)

微LF-300S

μLF-300S + μLT-8I (1/8英寸) 或μLF-300S + μLT-4I (1/4英寸)
測量原理超聲波傳播時間差法
被測液體純水、水溶液、各種化學溶液
* 請?zhí)崆皺z查水以外的液體
自適應流體溫度范圍如果您在 15°C~80°C
* 60°C 或更高溫度下使用,請?zhí)崆皺z查
流體壓力0.5MPa 以下 
流體動力學粘度100mm^2/sec 或更小
流量范圍0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I)
測量精度±0.5%RD (1/8英寸 : 200 ~ 1000ml/min 條件: 常溫、恒溫水)
±1ml/min (1/8英寸: 0 ~ 199ml/min)
±0.5%RD (1/4英寸: 800 ~ 4000ml/min 條件:常溫、恒溫水)
±4ml/min (1/4英寸:0~ 799 毫升/分鐘)
重復性±0.2%(純品,液體溫度±0.5°C,平均 30 秒)
權力直流 24V ±10%
功耗3.6W 或更低
重量傳感器 240 克,探測器 70 克
尺寸 WxHxD(mm)傳感器 97 x 49 x 127
探測器 90 x 25 x 20(不含管)
探測器
管材PFA(含氟聚合物)
管徑1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內(nèi)徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內(nèi)徑:4.35 毫米
結構相當于 IP65
包含電纜5m,連接器連接
Input 部分
數(shù)字輸出4 線 RS-422、4 線 RS-485
模擬輸出4-20mA(瞬時流量),負載電阻 500Ω 以下
積分脈沖輸出1ch (集電極開路)
警報輸出1ch (集電極開路)
輸入1ch(零流量設置或全清除)
鍵入命令4 輸入按鈕


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